Водната система за охлаждане на процеса се състои от следните части: чилъри, помпи, топлообменници, водни резервоари, филтри и технологично оборудване.
Воден охладител: Осигурете източник на студ за системата за охлаждаща вода.
Водна помпа: подайте налягане на водата, за да осигурите циркулацията й в охладителната система.
Топлообменник: Използвайте това оборудване за обмен на топлина между системата за охладена вода и системата за охладена вода, за да прехвърлите топлината, генерирана в страната на натоварването на системата, към системата за охладена вода.Съществуват много видове топлообменници, които могат да бъдат разделени на тип кожух и тръба, тип пластина, тип пластина с ребра, тип топлинна тръба и т.н. според тяхната форма.За сравнение, пластинчатият топлообменник има предимствата на малък отпечатък и голяма площ за пренос на топлина.Като се имат предвид разходните характеристики на пространството и площта нав завода за полупроводници се предпочита оборудване с малък отпечатък, за да се спести площ и инженерни разходи.
Резервоар за вода: Резервоарът за вода в отворената система играе главно ролята на допълващ източник на вода.Резервоарът за вода в затворената система трябва да избере разширителен резервоар за вода.Разширителният резервоар за вода има три функции.Едната е да задържа и компенсира разширяването и свиването на водата в системата;другото е да осигури стабилно налягане към затворената циркулационна водна система и да играе роля в стабилизирането на системата;Третият е като индикация на водната помпа на системата, обикновено разширителният резервоар изпраща сигнал за стартиране или изключване на водната помпа на системата.
филтър: филтрирайте твърдите частициИма две относително независими системи в системата за охлаждане на процеса, охладена вода и охлаждаща вода.Охладената вода се осигурява от чилъра, а охладената вода и охлаждащата вода обменят топлина, за да охладят охлаждащата вода и да намалят температурата на оборудването.Водата се изпомпва от производственото оборудване през водната помпа към топлообменника, за да се осигури температурата на водата за охлаждане на процеса чрез контролиране на количеството охладена вода и след това се изпраща към оборудването на производствената линия след преминаване на филтъра и след това обратно към водната помпа.Водата за охлаждане на процеса на образуване многократно циркулира.Охладената вода се връща директно в охладителя.