Автоматичен контрол на температурата и влажността
Температурата и влажността на чистата стая се определят главно според изискванията на процеса, но при условие, че са изпълнени изискванията на процеса, трябва да се вземе предвид комфортът на човека.С увеличаването на изискванията за чистота на въздуха, има тенденция процесът да има все по-строги изисквания за температура и влажност.
Тъй като точността на обработка става все по-фина и по-фина, изискванията за диапазона на температурни колебания стават все по-малки и по-малки.Например, в процеса на експониране на литография при широкомащабно производство на интегрални схеми, разликата между коефициента на топлинно разширение на стъклото и силициевата пластина като материал на диафрагмата трябва да бъде все по-малка.Силиконова пластина с диаметър 100 μm ще причини линейно разширение от 0,24 μm, когато температурата се повиши с 1 градус.Следователно тя трябва да има постоянна температура от ±0,1 градуса.В същото време стойността на влажността обикновено се изисква да бъде ниска, тъй като след като човек се изпоти, продуктът ще бъде замърсен, особено за полупроводникови работилници, които се страхуват от натрий, този вид чиста работилница не трябва да надвишава 25 градуса.
Прекомерната влажност причинява повече проблеми.Когато относителната влажност надвиши 55%, ще се появи конденз по стената на тръбата за охлаждаща вода.Ако се случи в прецизно устройство или верига, това ще причини различни аварии.Лесно се ръждясва, когато относителната влажност е 50%.Освен това, когато влажността е твърде висока, прахът на повърхността на силиконовата пластина ще бъде химически адсорбиран от водните молекули във въздуха към повърхността, което е трудно за отстраняване.Колкото по-висока е относителната влажност, толкова по-трудно е да се премахне адхезията, но когато относителната влажност е по-ниска от 30%, частиците също лесно се адсорбират на повърхността поради действието на електростатична сила и голям брой полупроводници устройствата са склонни към повреда.Най-добрият температурен диапазон за производство на силициеви пластини е 35~45%.
